在華芯片半導(dǎo)體出口限 制大背景下，昊特（洛陽）爐業(yè)有限責(zé)任公司堅(jiān)持自主創(chuàng)新，每年在研發(fā)投入了巨大的資源，攻克核心技術(shù)，下面給大家介紹一臺真空氣氛型箱式爐。

　　加熱元件:硅鉬棒

　　燒成溫度:空氣氣氛使用溫度1650度

　　氮?dú)鈿夥帐褂脺囟?550度

　　參數(shù)信息：

　　氣路控制:

　　使用真空置換爐內(nèi)氧氣含量不高于50ppm可通過曲線設(shè)定真空置換，真空度和進(jìn)氣量單獨(dú)可調(diào)，

　　燒成能力:100KG/爐

　　有效燒結(jié)尺寸:500*500*500mm

　　外形尺寸(約):1700*1700*2300mm

　　溫度均勻性:士5度

　　冷卻方式:水冷

　　測溫方式:2支B型熱電偶溫度監(jiān)控并記錄

　　進(jìn)氣方式:設(shè)有氮?dú)赓|(zhì)子流量計(jì)自動控制進(jìn)氣流量，較大100L/min

　　壓力控制:爐內(nèi)壓力可根據(jù)設(shè)定自動調(diào)節(jié)控制，保證爐壓穩(wěn)定性

　　控制方式:PLC+觸摸屏控制方便操作與觀察（選配）

　　優(yōu)勢:

　　體積小巧，適用于實(shí)驗(yàn)室、研究所和大學(xué)做研究